コンパクトでありながら高効率・高性能を実現した純水加温装置‘JHシリーズ’です。
半導体業界、液晶業界の各メーカー様より、厚いご信頼とご好評をいただいております。
特長
- コンパクト・高効率・クリーン設計
場所を取らないコンパクト設計を実現。加熱効率96％の高性能に加え、加熱容器に石英ガラス、主要配管部にフッ素樹脂を用いたクリーン設計です。 - 高性能温度調整機能
電子制御による温調で、細やかな温度特性を可能にしました。起動が早く、省エネ運転も可能です。 （JH-48S・72S・96S・144S） - 安全設計
過昇温・加圧防止機能や、漏水検出機能をはじめ、漏電防止機能、水位センサーを搭載した安全設計です。 - 優れた操作性
洗浄機からの信号によるリモート運転が可能です。運転モード（通水・節水）やヒータON-OFFの切り替え、温度設定値の変更も自由自在です。
用途
- シリコンウェハーの洗浄
- 液晶ガラス基盤の洗浄
- ハードディスク基盤の洗浄
- その他、温純水洗浄
性能特性図
