純水・超純水関連機器カテゴリーTOPへ戻る

帯電防止装置

超純水の静電気を制御する帯電防止装置です。
半導体業界、液晶業界の各メーカー様より、厚いご信頼とご好評をいただいております。

特長

  • 故障箇所が少ないシンプルな機構を採用しました。
  • 炭酸ガス吸気膜の長期使用が可能です。
    ※水圧 0.05〜0.5MPa(5年間保証)
  • 炭酸ガスのロスを抑えました。
  • 豊富なオプション対応が可能です。

用途

用途 ●マスク、レチクルの洗浄 ●スクラバー洗浄 ●高圧ジェット洗浄 ●ダイシング工程での洗浄 ●セル洗浄 効果 ●静電気による”ゴミ再付着”の防止 ●基盤パターンの”静電気破壊”の防止

流量変動時の比抵抗挙動

流量変動時の比抵抗挙動
お問合せカタログ請求