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純水加温装置
超脱気装置
帯電防止装置
用水・純水・超純水・リユース各種装置
超純水の静電気を制御する帯電防止装置です。
半導体業界、液晶業界の各メーカー様より、厚いご信頼とご好評をいただいております。
特長
故障箇所が少ないシンプルな機構を採用しました。
炭酸ガス吸気膜の長期使用が可能です。
※水圧 0.05〜0.5MPa(5年間保証)
炭酸ガスのロスを抑えました。
豊富なオプション対応が可能です。
用途
流量変動時の比抵抗挙動