薬液の脱気用としてご利用いただける、コンパクトで大容量のテフロン脱気膜です。
半導体業界、液晶業界の各メーカー様より、厚いご信頼とご好評をいただいております。
特長
- 中空糸膜は四フッ化エチレン樹脂製の非多孔構造からなり、耐薬性・耐溶剤性・耐熱性に優れています。
- 非多孔中空糸膜を用いており、真空側への薬液リークがありません。
- 非多孔中空糸膜の結束本数を増やすことにより膜面積を大きくし、コンパクト設計を実現しました。
- 折れにくい非多孔中空糸膜の採用により、耐久性に優れています。
用途
- 半導体、液晶製造工程で使用される薬液の脱気
(現像液・レジスト液・リンス液・エッチング液・めっき液・超純水など) - 精密塗工液やプリンター用インクなどの脱気
(写真感光液・インクなど) - 測定値に悪影響を及ぼす除去液中パーティクルカウンターにおける試料液の脱気
- 近年、半導体デバイスの微細化に代表される生産技術の高精度化に伴い、現像不良、レジスト残りなど、さまざまなデバイス欠陥の原因となる各種薬液中のマイクロバブル除去について、たくさんのご要望をいただいております。
また、ウェハーやLCD基盤の大型化が進む中で、脱気ユニットの処理能力向上も求められております。
弊社では、これらのご要望にお応えするため、薬液脱気膜を提案・提供させていただいております。 - この脱気膜の導入により、半導体・液晶両業界で多く使用されている各種薬液の脱気が可能となります。主流300mmウェハーに対応した処理能力の向上も実現させております。
- 薬液の確実な脱気により、デバイス生産における欠陥要因となっているマイクロバルブの除去、省スペース化、配管の簡素化が可能となります。
- 【脱気メカニズム】
この薬液脱気膜の脱気メカニズムは、四フッ化エチレン樹脂(PTFE)製のチューブ状の気体透過膜を介して、液体に溶解している気体を除去します。チューブの外側を真空にすることによりチューブ内外の気体に分圧差を生じさせ、チューブ内の薬液から溶解している気体を除去します。
概要
製品仕様
