我々は長年培ってきた半導体業界・液晶業界向け販売網を生かし、両業界で使用される洗浄水の超脱気をターゲットにした超脱気装置LDOシリーズを提案・販売しております。
特長
- 極限の超脱気性能(5μg/L)を実現しました。
- クリーン設計により、純水はクリーンなまま脱気されます。超純水にも対応します。
- コンパクト設計で設置場所を選びません。ユースポイントの近くに設置できる上、大流量でもラクラク超脱気。
- 低圧損システムを導入しました。
用途及び効果
- 溶存酸素が原因となるウェハー上の自然酸化膜を抑制します。
- 溶存酸素ならびに溶存窒素が原因となるバブル発生を抑えます。
- 上記2点に関連し、超純水中の溶存ガスを除去することにより、洗浄効果が向上。ウォーターマークと呼ばれるシミ発生を低減します。また、パーティクル(Particle)付着の低減効果も期待できます。
- その他、温純水洗浄
概要
- 洗浄プロセスで使用される超純水の温度、溶存ガスをコントロールすることは、超クリーンなウェハー表面を形成するためには、必要不可欠な技術です。
溶存しているガスの悪影響として、酸化反応とバブル発生が指摘されています。 - 酸化反応とは、水分と酸素が存在することによりウェハーからSiが溶出する現象です。ウェハー表面の凹凸の原因になるとともに、時間とともに成長する自然酸化膜はさまざまな悪影響を及ぼします。
- バブル発生は、溶存気体が温度や圧力の変化で溶解度を超えることによりガス化して起こります。バブルがウェハーに付着すると微細部への洗浄液の浸透を妨害し、これが洗浄むらの原因になると考えられています。
超脱気装置/LDOシリーズメカニズム
- 【高性能真空システム】
独自開発の脱気に最も適した真空ポンプを搭載しております。2段式により高い性能を実現。モーター直結式なので非常にコンパクトです。
インペラーはステンレス、ケーシングは樹脂で構成されているため、腐食の心配は不要です。 - 【スチームブースター効果】
脱気膜と真空ポンプの間のガス分圧差を物質移動エネルギーとして利用するのが脱気の原理。水蒸気分圧差を利用したスチームブースター方式により、水中のO2、N2を極限まで超脱気できます。
